東晉時屬欣樂、酉平縣地,南朝宋時分屬安懷、懷安縣地,隋開皇九年(589)后稱歸善縣,州、郡、路、府均設在縣境內。
民國元年(1912)后,廢惠州府,將惠州府與歸善縣合并為惠陽縣,先后屬潮循道、第四行政督察區、第五行政督察區管轄。
抗戰時期,分為路東縣和惠東縣,后自然消失。
民國38年(1949),分為惠陽、惠東兩縣。
1949年12月,惠陽、惠東合并為惠陽縣,縣署遷至淡水。
1950年4月,縣署又遷回惠州城東。
1958年4月,劃出惠州市(縣級)和惠東縣。是年底,重新合回,并將龍崗、橫崗、坪山、大鵬、葵沙、南平等鄉劃歸寶安縣。
1964年10月,劃出惠州市(縣級),1965年7月,劃出12個公社為惠東縣。
1975年5月,劃出三棟公社歸惠州市(今惠城區)管轄。
1990年3月,縣城從惠州市區遷到淡水鎮,1990年11月,劃出澳頭、霞涌兩鎮及淡水鎮西面一小部分為大亞灣工業區,即今大亞灣經濟開發區。
1994年5月6日,國家民政部批準惠陽撤縣設市(縣級),委托惠州市代管,轄18個鎮(鄉),市政府設在淡水鎮金惠大道。
2003年3月,經國務院批準,惠陽撤市設區,2003年6月10日正式掛牌,轄淡水、沙田、秋長、新圩、鎮隆、永湖、良井、平潭、澳頭、霞涌10個鎮和三和開發區(其中澳頭、霞涌現實歸大亞灣經濟開發區管轄),區政府所在地不變。